技术参数

手臂数	4（上面2，下面2）
可安装探针	1172系列，CP1072系列，CP1073系列
测试步数	4,000,000步
测试项目・测量范围	直流定电流导通测试	400.0 mΩ〜1.000 kΩ
	直流定电流电阻测试	40.00 μΩ〜400.0 kΩ
	直流定电压电阻测试	4.000 Ω〜40.00 MΩ
	绝缘电阻测试	1.000 kΩ〜100.0 GΩ
	低电压绝缘电阻测试	1.000 MΩ〜 100.0 GΩ
	交流定电压静电电容测试	100.0 fF〜10.00 μF
	漏电流测试	1.000 μA〜100.0 mA
	高电压电阻测试	1.000 kΩ〜100.0 GΩ
	电容器绝缘测试	1.000 kΩ〜250.0 MΩ
	开路测试	4.000 Ω〜4.000 MΩ
内埋元件基板测试	短路测试	400.0 mΩ ～ 40.00 kΩ
	LSI 连接测试	0.000 V〜12.00 V
	交流定电压电阻测试	10.00 Ω〜100.0 kΩ
	交流定电压电容测试	10.00 pF〜100.0 μF
	交流定电压电感测试	1.000 μH〜1.000 mH
判定范围	-99.9%〜+999.9%, 或绝对值
移动最小分辨率	XYZ：0.1 μm
最小焊盘间距	上面：34 μm（使用CP1075-09时）下面：44 μm（使用CP1075-09时）
最小焊盘尺寸	上面：4 μm（使用CP1075-09时）下面：14 μm（使用CP1075-09时）
测试速度	Max. 100 points/s (0.15 mm移动・4手臂同时探测, 电容法测试时)
可测试基板尺寸	板厚: 1〜12 mm, 尺寸: 50W × 50D〜340W × 340D mm
最大可测试区域	340W × 340D mm
基板固定	通用基板固定治具或者电容测试真空吸盘（选件）
所用空气	一次侧压力0.5MPa ～ 0.99MPa（干燥空气）最大耗气量0.3L/min（ANR）
电源	AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 (订货时指定) 50/60 Hz, 5 kVA
体积・重量	1355W × 1190H × 1265D mm (凸起部除外), 1100 kg±50 kg