浓缩的测量指标

电压测量准确度（4线感测）

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。附加的测量指标

附加的测量指标

输出建立时间（典型值为最终值的10%）：<2s，1pA和10pA量程；<50ms，100pA 至10nA量程；<5ms，100nA至100mA量程。

电流噪声：在1分钟间隔观察时，90%的间隔中峰峰值噪声在400aA以内， 在使用Autofilter（5s 10% -90%的上升时间），使用三同轴连接器防护 罩，Autozero OFF、Source Delay=0，使用1pA量程至少3分钟的条件下。

电流测量准确度（2线或4线感测）

温度系数（0°C-18°C & 28°C-40°C）：±[（0.15×规定的准确度）+1fA]/°C。

输入电流：<3fA@23°C，<40%相对湿度；通常为±0.5fA/°C在23°C左右，<40% 相对湿度。

电阻测量准确度（4线感测带远端前置放大器）

输出电流模式，自动电阻

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。

输出电流模式，手动电阻：不确定度总和=电流输出准确度+电压测量准确度 （四线测量）。

输出电压模式：不确定度总和=电压输出准确度+电流测量准确度（四线测 量）。

6线电阻模式：可使用有源电阻防护和防护检测（仅主机后面板）。防护输出 电流最大值：50mA。准确度取决于负载。查阅手册获取计算公式。

主机防护输出电阻：0.1Ω，电阻模式。

注解：

1.速度=10PLC，Autofilter ON，正确归零和稳定。

2.输出电流模式，I=0。

3.电压测量准确度不受远端前置放大器的影响。

4.电流测量准确度不受远端前置放大器影响；然而，1pA~100nA量程仅当 使用前置放大器时可用。

5.四线模式。

6.仅手动电阻模式。

7.激活源回读，失调补偿开。源时延必须设置为使源完全稳定才能读数。

浓缩的系统速度

测量

量程变化速度的最大值：75/s。

单读数工作模式的读速度（读数/秒），在60Hz（50Hz）条件下：

浓缩的源指标

电压设置准确度（4线感测）5

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。

最大输出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。

源/阱极限：±21V@±105mA，±210V@±10.5mA。

电压调整率：线路调整率：量程的0.01%。负载调整率：量程的0.01%+100μV。

噪声10Hz~1MHz（峰峰值）：10mV。

过压保护：用户可选择，5%公差。工厂缺省为None。

电流钳制：双极性电流极限（容限）设为一个值。量程的0.1%（最小值）。

电流设置准确度（带远端前置放大器）

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。

最大输出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。

源/阱极限：±10.5mA@±210V，±105mA@±21V。

电流调整率：线路调整率：量程的0.01%。负载调整率：量程的0.01%+1fA。

电压极限：双极性电压极限（容限）设为一个值。量程的0.1%（最小值）。

注解：

1.读数速率可用于电压或电流测量。关闭自稳零，关闭自动量程，关 闭滤波器，关闭显示，触发延时=0，源自动清空，并且采用二进制读 数格式。

2.采用上限和数学下限进行通过/失效测试。

3.包含测量之前重新设置源至新电平的时间。

4.对于阱模式，1pA~100mA量程，准确度是±(0.15%+偏移*4)。

5.电压源准确度不受远端前置放大器的影响。

综合说明

负载阻抗：稳定至20000pF在100mA至100μA量程，470pF在10μA和1μA量 程，以及100pF在nA和pA量程。查阅用户手册获取大电容性负载测量的 详细说明。

共模电压：±42VDC最大值。

共模隔离：>109Ω，<1000pF。

过量程：量程的105%，源和测量。

输入/输出与测量端子之间的最大压降：5V。（为满足规定的准确度用4线测 量，请参阅用户手册。）

测试线电阻最大值：10Ω，对于额定准确度。

测试输入电阻：1MΩ。

主机防护偏置电压：300μV，典型值。

前置放大器防护偏置电压：1mV典型值。

前置放大器防护输出电阻：110kΩ。

源输出模式：固定直流电平，内存列表（混合功能），阶梯波扫描（线性和 对数）。

源内存列表：100点（最大值）。

内存缓冲区：5,000个读数/秒@5位半（2个2,500点缓冲区）。包括所选的测 量值和时间戳。锂电池备份（电池寿命超过3年）。

数字接口：

安全互锁：有源低电平输入：

处理程序接口：测试开始，测试结束，3类比特。+5V@300mA电源。

数字I/O：1触发输入、4 TTL/继电器驱动输出（33V@500mA阱、二极管钳 位）。

可编程性：IEEE-488(SCPI-1995.0)，RS-232，5种用户定义的上电状态加上 出厂缺省设置和*RST。

电源：100V~240V有效值，50Hz~60Hz（上电时自动检测），100VA最大值。

EMC：符合欧盟指令89/336/EEC EN 55011，EN 50082-1，EN 61000-3-2和 61000-3-3，FCC第15部分Class B。

安全性：符合欧盟指令73/23/EEC EN 61010-1。

振动：MIL-PRF-28800F，Class 3。

预热时间：1小时达到额定准确度。

规格：89mm高×213mm宽×370mm深（3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in）。

测试台尺寸配置（带手柄和支脚）：104mm高×238mm宽×370mm深（4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in）。

放大器：20mm高×57mm宽×97mm深（0.783 in×2.225 in×3.75 in）。

重量：5.9公斤（13磅）。

工作环境：工作条件：0°~40°C，60%相对湿度（不凝结）至35°C。在 35°~40°C范围内，相对湿度降低5%/°C。存储条件：–25°C~65°C，不凝 结的湿度。