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技术参数

2470 Graphical SourceMeter® SMU Instrument Data Sheet

电压规格

 

输入源

测量

 

范围

 

分辨率

准确度
23℃±5℃,1年
(%设置+电压)

 

噪声(RMS)
< 10Hz

 

分辨率

 

输入电阻

准确
23℃±5℃,1年
(%读数+电压)

200.0000mV

5μV

0.015% + 200μV

2 μV

100 nV

> 10GΩ

0.012% + 200μV

2.000000V

50μV

0.020% + 300μV

10μV

1V

> 10GΩ

0.012% + 300μV

20.00000V

500μV

0.015% + 2.4mV

100μV

10V

> 10GΩ

0.015% + 1mV

200.0000V

5mV

0.015% + 24mV

1mV

100V

> 10GΩ

0.015% + 10mV

1000.000V

50mV

0.02% + 100mV

20mV

10mV

> 10GΩ

0.015% + 50mV


当前规格

 

输入源

测量

 

范围

 

分辨率

准确度
23℃±5℃,1年
(%设置+安培)

 

噪声(RMS)
< 10Hz

 

分辨率

 

电压负担

准确
23℃±5℃,1年
(%读数+安培)

10.00000nA6

500fA郎

0.100% + 200pA

500fA郎

10 fA

< 100V

0.10% + 250pA

100.0000nA6

5pA

0.060% + 250pA

500fA郎

100fA

< 100V

0.060% + 300pA

1.000000 μA

50pA

0.025% + 400pA

5pA

1pA

< 100V

0.025% + 300pA

10.00000μA

500pA

0.025% + 1.5nA

40pA

10pA

< 100V

0.025% + 700pA

100.0000μA

5 nA

0.020% + 15nA

400pA

100pA

< 100V

0.02% + 6nA

1.000000mA

50nA

0.020% + 150nA

5 nA

1 nA

< 100V

0.02% + 60nA

10.00000mA

500nA

0.020% + 1.5 μA

40 nA

10 nA

< 100V

0.02% + 600nA

100.0000mA

5 μA

0.025% + 15 μA

100nA

100nA

< 100V

0.025% + 6 μA

1.000000A

50 μA

0.067% + 900 μA

10 μA

1 μA

< 100V

0.03% + 500 μA

笔记
1. 速度= 1 PLC。
2. 输出开启时保证所有规格。
3. 正确调零后,精度适用于2线和4线模式。对于200 mV和1 A范围,电压负载可能超过2线模式下的规格。
4. 电压的最大显示和编程范围为5%超量程,1000 V范围除外,该范围为10%超量程(1100 V),电流为5%超量程(例如,
1 A范围内的1.05 A)。
5. 对于吸电流模式,精度为(0.15% +失调× 4)除1 A范围外,精度为:(1.5% +失调× 8)。
6. 仅后面板三轴连接。

电阻测量精度(本地或远程感应)7、8、9

 

范围

 

分辨率

 

默认测试电流

正常精度23°C±5°C,1年
(%读数+欧姆)

增强的准确性11
23℃±5℃,1年
(%读数+欧姆)

< 2.000000μΩ

1 Ω

User defined

Source IACC + Meas. VACC

Meas. IACC + Meas. VACC

20.00000μΩ

10 Ω

100mA

0.098% + 0.003 Ω

0.073% + 0.001 Ω

200.0000μΩ

100 Ω

10mA

0.077% + 0.03 Ω

0.053% + 0.01 Ω

2.000000kΩ

1mΩ

1mA

0.066% + 0.3 Ω

0.045% + 0.1 Ω

20.00000kΩ

10mΩ

100μA

0.063% + 3 Ω

0.043% + 1 Ω

200.0000kΩ

100mΩ

10 μA

0.065% + 30 Ω

0.046% + 10 Ω

2.000000MΩ

1 Ω

1 μA

0.11% + 300 Ω

0.049% + 100 Ω

20.00000MΩ

10 Ω

1 μA

0.11%+1kΩ

0.052% + 500 Ω

200.0000MΩ

100 Ω

100nA

0.655%+10kΩ

0.349%+5kΩ

> 200.0000MΩ

User defined

Source IACC + Meas. VACC

Meas. IACC + Meas. VACC

温度系数(0.15 ×精度规格)/0°C至18°C和28°C至50°C

源电流,测量电阻模式
总不确定度= I源精度+ V测量精度(4线遥感)

源电压,测量电阻模式
总不确定度= V源精度+ I测量精度(4线遥感)

保护输出阻抗≥300Ω(典型值)

笔记
7. 速度= 1 PLC。
8. 输出开启时保证所有规格。
9. 正确调零后,精度适用于2线和4线模式。
10. 测量分辨率6.5位数。
11. 源回读使能;失调补偿开启。
12. 源电流,测量电阻或源电压,仅测量电阻。
13. 仅后面板三轴连接。

补充规范

超过200 mV至200 V范围的105%,源和测量范围;1000 V范围的110%,源和测量范围

规章制度
电压线:量程的0.01%
负载:量程的0.01%+100V
当前行:范围的0.01%
负载:量程的0.01%+100pA

输入源限制
电压源电流限值双极电流限值设置为单值
最小值是范围的10%
电流源电压限值双极电压限值设置为单值
最小值是范围的10%

电压限值/电流限值精度
将0.3%的量程和0.02%的读数添加到基本规格中

错过
电压源小于0.1%典型值
步长=满量程、阻性负载、20 V范围、10 mA限流
电流源小于0.1%(典型值)
步长=满量程、10kΩ阻性负载、1 mA范围、20 V电压限值

范围变化过冲过冲至100kΩ全阻负载,10 Hz至20 MHz带宽,相邻范围:250 mV(典型值)

处理命令和输出压摆率后,输出建立时间达到最终值的0.1%所需的时间:20 V范围,100 mA限流:< 200 s(典型值)

最大压摆率14±0.2V/s,200 V范围,2kΩ负载的100 mA限值(典型值)
0.5 V/ s,1000 V范围,10 mA限值进入100kΩ负载(典型值),过压保护用户可选值,10%容差;工厂默认值=无电压源噪声10 Hz至20 MHz (RMS): 4 mV(典型值)进入电阻负载共模电压250 V DC
共模隔离> 1gΩ,< 1000 pF


笔记
14. 高电容模式关闭。
 



 
噪声抑制(典型值)

NPLC

NMRR

CMRR

0.01

60dB

0.1

60dB

60dB

100dB*

10 nA和100 nA电流范围除外~90 dB

负载阻抗
正常模式20 nF(典型值)
高电容模式稳定至1 μF(典型值)(该规格仅对≥100 μA的范围有效)

施加和感测端子之间的最大压降
5V

额定精度下最大感测引线电阻为1MΩ

检测输入阻抗> 10gΩ

保护失调电压< 300 V(典型值)

系统测量速度15
60Hz(50Hz)的典型读数速率(每秒读数),脚本(TSP)编程

 

正相色谱

 

触发原点

To Mem

To GPIB

To USB

To LAN

To Mem

To GPIB

To USB

To LAN

0.01

内部的

3150 (2800)

2760 (2570)

2825 (2570)

2740 (2530)

1710 (1620)

1620 (1540)

1630 (1540)

1620 (1540)

0.01

外部

2170 (2050)

2120 (2003)

2170 (2010)

2100 (1990)

1670 (1590)

1580 (1500)

1590 (1510)

1580 (1510)

0.10

内部的

540 (460)

530 (450)

530 (450)

530 (450)

470 (410)

460 (400)

470 (400)

470 (400)

0.10

外部

500 (430)

490 (420)

500 (425)

480 (420)

450 (400)

460 (390)

460 (390)

410 (350)

1.00

内部的

59 (49)

58 (49)

59 (49)

59 (49)

58 (48)

58 (48)

58 (48)

57 (48)

1.00

外部

58 (48)

57 (48)

58 (48)

58 (48)

57 (48)

57 (48)

57 (48)

55 (48)

读数速率(每秒读数)通常为60Hz(50Hz),SCPI编程为16

 

正相色谱

 

触发原点

To Mem

To GPIB

To USB

To LAN

To Mem

To GPIB

To USB

To LAN

0.01

内部的

3040 (2800)

3000 (2760)

3000 (2760)

3010 (2710)

1710 (1630)

1610 (1544)

1440 (1380)

1690 (1590)

0.01

外部

2320 (2165)

2290 (2140)

2340 (2150)

2290 (2130)

1680 (1590)

1560 (1525)

1410 (1360)

1660 (1560)

0.10

内部的

540 (460)

540 (450)

540 (460)

540 (450)

470 (410)

470 (410)

450 (390)

470 (410)

0.10

外部

510 (440)

510 (430)

510 (440)

510 (430)

470 (400)

470 (400)

450 (390)

470 (400)

1.00

内部的

59 (49)

59 (49)

59 (49)

59 (49)

58 (48)

58 (48)

57 (48)

58 (48)

1.00

外部

58 (49)

58 (49)

58 (49)

58 (49)

58 (48)

58 (48)

57 (47)

58 (48)

笔记
15. 适用于电压或电流测量的读取速率、自动调零关闭、自动量程关闭、滤波器关闭、二进制读取格式和源回读关闭。
16. SCPI编程模式。
 


一般特性
(除非指定,否则为默认模式)

工厂默认标准上电设置
SCPI模式

源输出模式固定DC电平
存储器/配置列表(混合功能)阶梯(线性和对数)

存储缓冲区> 5,000,000个读数,带有选定的测量值和时间戳

实时时钟锂电池备份(电池寿命超过3年)

远程接口GPIB:符合IEEE标准488.1;支持IEEE Std 488.2通用命令和状态模型拓扑
USB设备(后面板,B型):2.0全速USBTMC
USB主机(前面板,A型):USB 2.0,支持闪存驱动器,FAT32
以太网:RJ-45连接器,10/100 BT

IP配置静态或DHCP

扩展接口TSP-Link扩展接口允许启用TSP的仪器相互触发和通信

LXI符合1.5 LXI设备规范2016

可从任何主机接口访问的TSP模式嵌入式测试脚本处理器(TSP)

5英寸电容式触摸显示屏,彩色TFT WVGA (800 × 480),带LED背光

前输入信号连接:香蕉。后部:高压三轴

可编程SCPI或TSP命令集

互锁有效高输入

数字输入/输出线:六个输入/输出,用户定义,用于数字输入/输出或触发
连接器:9针内螺纹D
输入信号电平:0.7 V(最大逻辑低电平)、3.7 V(最小逻辑高电平)输入电压限值:–0.25V(绝对最小值)、+5.25 V(绝对最大值)最大源电流:+2.0 mA(大于2.7 V时)(每个引脚)
最大吸电流:0.7 V时为–50mA(每个引脚,固态保险丝保护)5 V电源引脚:在> 4 V时限制为500 mA(固态保险丝保护)处理器:用户可定义的测试开始、测试结束、4个类别位
变速强制冷却空气

超温保护内部感应的温度过载将仪器置于待机模式

电源100 VRMS至240 VRMS,50Hz或60Hz(通电时自动检测)

VA额定值最大220 VA

海拔最高2000米(6562英尺)

EMC符合欧盟EMC指令

符合UL61010-1和UL61010-2-30的安全NRTL;符合欧盟低压指令

RoHS符合欧盟有害物质限制指令

振动MIL-PRF-28800 f 3级随机

预热一小时至额定精度
 



 
带把手和保险杠的尺寸:106毫米× 255毫米× 425毫米(4.18英寸。高× 10.05英寸。宽× 16.75英寸。深)
不带把手和保险杠:88毫米× 213毫米× 403毫米(3.46英寸。高× 8.39英寸。宽× 15.87英寸。深)

带把手和保险杠的重量:4.54千克(10磅)
不含把手和保险杠:4.08千克(9.0磅)

工作环境:0°C至50°C,70%相对湿度,最高35°C;相对湿度降低3 %/℃, 35℃至50℃
储存温度:–25℃至65℃
污染类别:2

SourceMeter是吉时利仪器有限责任公司的注册商标。所有其他商标是其各自所有者的财产。

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